俄歇電子能譜儀（Auger Electron Spectrometer, AES）為微電子業常見的表面分析技術之一。原理是利用一電子束為激發源，使表面原子之內層能階的電子游離出，原電子位置則會產生電洞，導致能量不穩定，此時外層電子會填補產生之電洞，進而釋放能量傳遞至外層能階電子，造成接受能量的電子被激發游離，游離的電子即為Auger電子。因其具有特定的動能，所以能依據動能的不同來判定材料表面的元素種類。

PHI的700Xi納米探針俄歇掃描 提供的俄歇（AES）頻譜分析，俄歇成像和濺射深度分析的復合材料包括：納米材料，催化劑，金屬和電子設備。維持基于PHI CMA的核心俄歇儀器性能，和響應了用戶所要求以提高二次電子（SE）成像性能和高能量分辨率光譜。PHI的同軸鏡分析儀（CMA）提供了同軸分析儀和電子槍的幾何實現高靈敏度多角度廣泛收集，以便完成三維結構圖，在納米級技術的發展這是基礎的。為了提高SE成像性能，閃爍探測器（Scintillator）已被添加以提高圖像質量，另再加上數碼按鈕的用戶界面再一次的提高了易用性。在不用修改CMA和仍維持俄歇在納米分析的優勢下，再添加了高能量分辨率光譜模式，使化學態分析的可能再大大的提高。總括來說，700Xi以的俄歇納米探針從的俄歇表面分析儀器，提供了實用和成熟的技術，以滿足納米尺度所需要的廣泛實驗與研發的用途。