擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體加工中的典型熱處理設(shè)備，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)中進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。

產(chǎn)品描述：

◆軟著陸載片裝置

 軟著陸送料裝置，避免了SiC槳的遮擋影響，提高了擴(kuò)散均勻性。同時(shí)槳的清洗周期大幅度延長(zhǎng)。

◆溫度控制

 新型爐體設(shè)計(jì)，提高了溫度穩(wěn)定性；配合溫控儀的使用，保證工藝過程中溫度的快速穩(wěn)定。

◆進(jìn)口元器件組合

 關(guān)鍵件采用進(jìn)口管件，且為半導(dǎo)體級(jí)別；的元器件組合，從而保證成膜質(zhì)量。

主要技術(shù)參數(shù)：

◆工藝管數(shù)量：1-4管

◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型

◆工作溫度范圍：400～1280℃

◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度±0.5℃/1080mm

◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆氣體流量設(shè)定精度:±1％F.S

◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆超凈工作臺(tái)：凈化等級(jí)：100級(jí)（萬級(jí)廠房）噪音：≤62dB（A）震動(dòng)：≤3μm

◆控制方式： 工業(yè)微機(jī)控制

◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制